GRAS麥克風(fēng)46AE上海分公司*
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大多數(shù)麥克風(fēng)都是駐極體電容器麥克風(fēng)（ECM），這種技術(shù)已經(jīng)有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用具有電荷隔離的聚合材料振動膜。與ECM的聚合材料振動膜相比，MEMS麥克風(fēng)在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)定，不會受溫度、振動、濕度和時間的影響。由于耐熱性強，MEMS麥克風(fēng)可承受260℃的高溫回流焊，而性能不會有任何變化。由于組裝前后敏感性變化很小，這甚至可以節(jié)省制造過程中的音頻調(diào)試成本。目前，集成電路工藝正越來越廣泛地被應(yīng)用在傳感器及傳感器接口集成電路的GRAS麥克風(fēng)46AE上海分公司*制造中。這種微制造工藝具有、設(shè)計靈活、尺寸微型化、可與信號處理電路集成、低成本、大批量生產(chǎn)的優(yōu)點。早期微型麥克風(fēng)是基于壓阻效應(yīng)的，有研究報道稱，制作了以(1×1)cm2、2μm厚的多晶硅膜為敏感膜的麥克風(fēng)。但是，在敏感膜內(nèi)不存在應(yīng)力的情況下，這樣大并且很薄的多晶硅膜的一階諧振頻率將低于300Hz。一階諧振頻率在這樣低的頻段范圍內(nèi)將導(dǎo)致麥克風(fēng)在聽覺頻率范圍內(nèi)的頻率響應(yīng)極不均勻(靈敏度的變化量大于40dB)，這對于麥克風(fēng)應(yīng)用是不可接受的。當敏感膜內(nèi)存在張應(yīng)力時，其諧振頻率將增大，卻以犧牲靈敏度為代價。當然，可以通過調(diào)整敏感膜的尺寸來獲得更高的一階諧振頻率，但是這仍將減小靈敏度。由此可見，壓阻式方案并不適于微型麥克風(fēng)的制造
20世紀初，麥克風(fēng)由初通過電阻轉(zhuǎn)換聲電發(fā)展為電感、電容式轉(zhuǎn)換，大量新的麥克風(fēng)技術(shù)逐漸發(fā)展起來，這其中包括鋁帶動圈等麥克風(fēng)，以及當前廣泛使用的電容麥克風(fēng)和駐極體麥克風(fēng)。圈麥克風(fēng)的工作原理是以人聲通過空氣使震膜振動，然后在震膜上的電磁線圈繞組和環(huán)繞在動圈麥頭的磁鐵形成磁力場切割，形成微弱的波動電流。電流輸送到擴音器，再以相反的過程把波動電流變成聲音
對于鋁帶麥克風(fēng)來說，其使用的鋁帶既是麥克風(fēng)膜片，又是在磁場中運動的導(dǎo)體。鋁帶通常由鋁帛制成，厚0~1毫米，寬2毫米~4毫米，質(zhì)量僅為0.2毫克，以求達到較好的瞬態(tài)反應(yīng)。為了取得在2kHz~4kHz之間較理想的共振頻率，鋁帶被制成皺折狀以保持一個的張力值。鋁帶作為導(dǎo)體和麥克風(fēng)膜片被懸掛于兩磁極面中間的磁場中，隨入射聲波頻率而振動，同時在鋁帶兩端產(chǎn)生一定的電壓輸出
電容式液位傳感器由電容式傳感器與電子模塊電路組成，它以兩線制4～20mA恒定電流輸出為基型，經(jīng)過轉(zhuǎn)換，可以用三線或四線方式輸出，輸出信號形成為 1～5V、0～5V、0～10mA等標準信號。電容傳感器由絕緣電極和裝有測量介質(zhì)的圓柱形金屬容器組成。當料位上升時，因非導(dǎo)電物料的介電常數(shù)明顯小于空氣的介電常數(shù)，所以電容量隨著物料高度的變化而變化。傳感器的模塊電路由基準源、脈寬調(diào)制、轉(zhuǎn)換、恒流放大、反饋和限流等單元組成。采用脈寬調(diào)特原理進行測量的優(yōu)點是頻率較低，對周圍元射頻干擾、穩(wěn)定性好、線性好、無明顯溫度漂移等。
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